一、產品特點及用途

反應燒結碳化硅懸臂槳，是半導體晶圓裝載系統的關鍵部件。
懸臂槳性能穩定，在高溫環境不變形，晶圓裝載量大，適用于機器人自動裝載和搬運系統。由于懸臂槳截面穩定不變形，使得利用現有的爐管制備更大規格晶圓成為可能。懸臂槳與LPCVD涂層的熱膨脹系數相近，應用于LPCVD，極大地延長了維護清洗周期，并大幅減少污染物。

二、理化指標